비저항 측정기

반도체 공정 전반에 사용되는 초 순수(DIW) 상태의 평가기준인 비저항(Resistivity)을

측정하는 계측기로서, 측정원리로는 2전극 방식의 도전율 측정방법을 이용하여

측정하고 기준온도(25 ℃)로 보상된 비저항 값을 측정한다.